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線性壓電納米位移臺(tái)MF40-25A，大行程直線位移臺(tái)，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境，支持定制納米位移臺(tái)。
低震動(dòng)干式液氦光學(xué)低溫恒溫器系統(tǒng)，使用氣體導(dǎo)熱隔震，實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)納米級(jí)的機(jī)械穩(wěn)定性。為有效降低環(huán)境震動(dòng)影響，產(chǎn)品設(shè)計(jì)安裝在光學(xué)隔震平臺(tái)上。
低溫液氮探針臺(tái) LN-4H-06產(chǎn)品主要是由真空腔體、探針控制、顯微鏡模塊、變溫樣品臺(tái)、進(jìn)口分子泵組、全旺程真空規(guī)、智能溫控儀等組成。
手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)，可測試晶圓尺寸:最大4英寸樣品臺(tái)行程:100mm*100mm移動(dòng)分辨率:~0.1mm樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍:360度低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax 輸出可選 400 度高溫樣品臺(tái)
ZP3-4 微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂，每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口，可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。
SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。
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